電子級硅烷分析氦離子色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測，檢測限達(dá)ppb級，重復(fù)性RSD≤1％。

　　

　　電子級硅烷分析氦離子色譜儀技術(shù)優(yōu)勢說明：

　　

　　1、載氣純化器為可再生型純化器，能將5N級氣體純化到7.5N以上，超高純度的載氣讓AGC高純氣氣相色譜儀具有更高的靈敏度；

　　

　　2、載氣切換裝置的配置，可同時(shí)承載兩瓶載氣，避免載氣使用完畢在切換氣源時(shí)進(jìn)入污染氣體，載氣切換裝置的配置保證了AGC氣相色譜更高的工作效率和分析質(zhì)量；

　　

　　3、獨(dú)到的中心切割、反吹系統(tǒng)技術(shù)，可以一次完成多種復(fù)雜成分的分析檢測；

　　

　　4、雙檢測器并聯(lián)使用，搭載兩個(gè)*獨(dú)立的檢測器，它們的溫控系統(tǒng)和操作運(yùn)行都是獨(dú)立的兩個(gè)檢測器，可以串聯(lián)，亦可以并聯(lián)；